開發(fā)三軸掃描振鏡是由于輸出鏡頭的成本和大小限制以及二軸掃描振鏡的光束孔徑限制，這種限制有礙于在中等大小掃描范圍內(nèi)產(chǎn)生較小光斑的功能。三軸掃描振鏡滿足客戶對于小光斑大尺寸加工范圍的應(yīng)用要求，并允許用戶使用相同掃描振鏡改變工作距離、范圍和光斑大小。三軸技術(shù)也適用于針對移動目標(biāo)的動態(tài)應(yīng)用，因為在三維應(yīng)用中，相應(yīng)的激光設(shè)備能夠加工非平面部件或不光滑表面以及高功率產(chǎn)品?，F(xiàn)在，這些解決方案用于頻率 nd:yag、二極管和 co2 激光器。

功能描述

 在三軸掃描振鏡工作時，激光束首先進入移動鏡頭。透過移動鏡頭之后，光束快速分散，直到進入一個或兩個聚焦鏡頭?，F(xiàn)在會聚的光束穿過鏡頭，并由一組 x 和 y 鏡片(這些鏡片由振鏡式掃描器移動)引導(dǎo)。x 和 y 鏡片呈直角排列，向下引導(dǎo)光束，覆蓋工作范圍的長和寬。

 在沒有焦點校正的掃描振鏡中，向任一軸向移動工作范圍中心聚焦的激光光斑時，都會劃出一個弧形，在工作范圍上方產(chǎn)生一個聚焦點的球面。在遠(yuǎn)離工作范圍中心的位置，激光光束沒有聚焦。這是因為當(dāng)掃描器將光束向遠(yuǎn)離工作范圍中心的方向引導(dǎo)時，從鏡頭到工件的距離增加了。